激光腐蝕監(jiān)控儀應用過電壓保護器
發(fā)布人：管理員 發(fā)布時間：2014-2-10
福建光學儀器廠和福建省光學技術研究所聯(lián)合研制成功FJ-1型激光腐蝕監(jiān)控儀，應用過電壓保護器，最近通過了技術鑒定。該食品利用激光干涉法，在線****監(jiān)控硅晶片表面膜或其它金屬片膜的腐蝕過程與腐蝕終點。由于監(jiān)控過程是非接觸的，所以對硅片無破壞性。儀器結構簡單、操作方便、性能穩(wěn)定可靠，測量精度高，可用于腐蝕監(jiān)控，也能用于等離子體刻蝕。是一種監(jiān)控半導體器件、集成電器制作過程防止硅片腐蝕不足或過腐蝕的重要檢測儀器
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